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Brooks Instrument品牌介紹:

Brooks Instrument是精密流體測(cè)量和控制技術(shù)的*生產(chǎn)者，能夠?qū)崿F(xiàn)精確的工藝性能，成立于1946年美國(guó)。是是ITW一個(gè)部門(mén)，ITW是的專(zhuān)業(yè)工業(yè)設(shè)備，消耗品和相關(guān)服務(wù)業(yè)的多元化制造商之一。

美國(guó)BROOKS INSTRUMENT主要產(chǎn)品包括：Brooks Instrument質(zhì)量流量控制器、Brooks Instrument轉(zhuǎn)子流量計(jì)、Brooks Instrument壓力傳感器、變送器、真空計(jì)、調(diào)節(jié)器、控制器等，廣泛應(yīng)用于重工業(yè)、油氣精煉、化學(xué)和石化研究、制藥和生物制藥生產(chǎn)、太陽(yáng)能電池、LED薄膜、光纖和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。過(guò)程控制是使您的生產(chǎn)超越尋常并實(shí)現(xiàn)新的性能水平的關(guān)鍵。要控制任何過(guò)程，您必須首先對(duì)其進(jìn)行精確測(cè)量。這就是使Brooks Instrument成為精密流體測(cè)量和控制技術(shù)的*的原因。他們實(shí)現(xiàn)了精確的過(guò)程性能。他們提供的結(jié)果始終為他們的客戶創(chuàng)造競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。在重工業(yè)中。在石油和天然氣精煉中。化學(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。

Brooks Instrument是《財(cái)富》200強(qiáng)公司ITW(伊利諾伊州工具廠)的子公司。ITW是專(zhuān)業(yè)工業(yè)設(shè)備，消耗品和相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù)的多元化制造商之一。該公司已經(jīng)繁榮了100多年，因?yàn)镮TW的每一項(xiàng)業(yè)務(wù)都具有獨(dú)立的企業(yè)家精神和創(chuàng)新自由。世界ITW的才華橫溢的人們通過(guò)新產(chǎn)品和客戶驅(qū)動(dòng)的解決方案來(lái)推動(dòng)他們的成功。這就是使Brooks Instrument成為精密流體測(cè)量和控制技術(shù)的*的原因。他們實(shí)現(xiàn)了精確的過(guò)程性能。他們提供的結(jié)果始終為他們的客戶創(chuàng)造競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。在重工業(yè)中。在石油和天然氣精煉中?；瘜W(xué)和石化研究。制藥和生物制藥生產(chǎn)。太陽(yáng)能電池，LED，薄膜，光纖和半導(dǎo)體制造。超越。

Brooks Instrument憑借其開(kāi)創(chuàng)性的流體測(cè)量和控制技術(shù)，一直是該市場(chǎng)的。布魯克斯儀器公司是值得信賴(lài)的合作伙伴，因?yàn)樗麄兊牧髁?，壓力和汽化儀器儀表非常準(zhǔn)確。這是可靠的。穩(wěn)定的?？芍貜?fù)的。耐用的。在要求工業(yè)和電子制造系統(tǒng)中，逐年，十年又十年地證明了這一點(diǎn)。它不斷融合創(chuàng)新，將測(cè)量和控制技術(shù)提升到新的靈活性和精度水平。過(guò)程控制是使您的生產(chǎn)超越尋常并實(shí)現(xiàn)新的性能水平的關(guān)鍵。要控制任何過(guò)程，您必須首先對(duì)其進(jìn)行精確測(cè)量。

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BROOKS INSTRUMENT主要產(chǎn)品

BROOKS INSTRUMENT彈性體密封壓力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量計(jì)

、BROOKS INSTRUMENT控制器、BROOKS INSTRUMENT流量傳感器

、BROOKS INSTRUMENT壓力控制器、BROOKS INSTRUMENT流量變送器

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BROOKS INSTRUMENT產(chǎn)品介紹

質(zhì)量流量控制器和儀表

為真正實(shí)現(xiàn)對(duì)每個(gè)過(guò)程的控制，用戶必須精確測(cè)量進(jìn)行中的過(guò)程 — 范圍涉及饋線、倉(cāng)室等每一處 — 然后利用所得到的實(shí)時(shí)信息確保過(guò)程準(zhǔn)確按照目標(biāo)執(zhí)行并達(dá)到目標(biāo)產(chǎn)率。

作為一家在液體精確測(cè)量與控制方面的企業(yè)，布魯克斯儀器數(shù)十年來(lái)不斷堅(jiān)持創(chuàng)新熱質(zhì)量流量技術(shù)，推出新產(chǎn)品并不斷提升現(xiàn)有系統(tǒng)性能以突破現(xiàn)有熱質(zhì)量流量技術(shù)在準(zhǔn)確性、響應(yīng)速度、精度和重現(xiàn)性方面的限制。

質(zhì)量流量設(shè)備在*得到廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵原因：

擁有業(yè)內(nèi)種類(lèi)的產(chǎn)品系列可滿足各種應(yīng)用需求

創(chuàng)新型 MultiFlo™ 技術(shù)可使一臺(tái)設(shè)備完成氣體類(lèi)型和量程的切換工作并且無(wú)需從系統(tǒng)中拆除設(shè)備，同時(shí)還能夠提升過(guò)程氣體的測(cè)量準(zhǔn)確性

產(chǎn)品范圍全面，包括彈性體密封和金屬密封選件

超高純度設(shè)備，專(zhuān)為滿足薄膜、半導(dǎo)體以及其他高科技行業(yè)需求而設(shè)計(jì)

熱處理、切割等其他熱過(guò)程

半導(dǎo)體和 LED 生產(chǎn)工具

薄膜淀積系統(tǒng)

用于生物制藥的生物反應(yīng)器

石化和化工氣體和液體試驗(yàn)工廠

吹掃氣體、過(guò)程分析和分析用流量測(cè)定

橡膠密封質(zhì)量流量計(jì)和控制器將工藝所需的準(zhǔn)確性、可靠性和可重復(fù)性相結(jié)合，是一種能夠?yàn)槟峁└呔刃阅芎烷L(zhǎng)期穩(wěn)定性并且經(jīng)濟(jì)有效的測(cè)量?jī)x器。結(jié)果：使運(yùn)營(yíng)投資價(jià)值和回報(bào)。

關(guān)鍵應(yīng)用

化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過(guò)程

實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過(guò)程

真空應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

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變面積流量計(jì)（轉(zhuǎn)子流量計(jì)）

作為變面積 (VA) 流量計(jì)（轉(zhuǎn)子流量計(jì)）技術(shù)的*之一，Brooks Instrument 生產(chǎn)各式組合的流量計(jì)，安裝并幾乎用于各行業(yè)和各應(yīng)用途徑。

這種廣泛的產(chǎn)品組合包括鎧裝金屬 和玻璃管轉(zhuǎn)子流量計(jì)每一個(gè)的設(shè)計(jì)都旨在能夠經(jīng)久耐用、可重復(fù)、可靠地測(cè)量氣體和液體流量。它們的特點(diǎn)是：

可靠易讀的顯示屏

任何情況下都指示故障安全流量

能補(bǔ)償變化壓力的一體化流量控制器

適用多個(gè)壓力范圍的材料和設(shè)計(jì)

現(xiàn)場(chǎng)可更換的組件和定制秤

可選的流量開(kāi)關(guān)與自動(dòng)閥或警報(bào)器相集成

關(guān)鍵應(yīng)用

基本的液體或氣體流量測(cè)量

旋轉(zhuǎn)設(shè)備的流量測(cè)量

過(guò)程分析儀

海上石油鉆井平臺(tái)的高壓流

化學(xué)劑注入

清洗液體或氣體的計(jì)量------

122系列機(jī)械壓力表

型號(hào)S122/C122/F122Brooks Instrument 122系列機(jī)械壓力表是為要求苛刻的半導(dǎo)體行業(yè)高純度應(yīng)用而設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)的。他們的機(jī)械壓力表由不銹鋼制成，精度為滿刻度的1%。這兩個(gè)英寸的壓力表是耐用的測(cè)量設(shè)備，可用于各種過(guò)程連接，壓力范圍和插座方向，從而提供了一種可靠而有效的本地壓力監(jiān)測(cè)方法。從壓力表供應(yīng)商處獲得精確的高性能結(jié)果。

特點(diǎn)

極廣泛的流量范圍 - 支持很低到很高程度的流速

溫度為 -325°F - 788°F (-198°C - 420°C )

壓力高達(dá) 6,000 psi（標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品）和20,000 psi（定制型）

帶現(xiàn)場(chǎng)操作接口（可選）的增強(qiáng)型 LCD 顯示屏

符合 SIL 2 要求的高/低流量報(bào)警功能

316SS 不銹鋼防爆外殼符合 ATEX 氣體組 IIC/1 類(lèi) 1 級(jí)危險(xiǎn)區(qū)等級(jí)

選擇的耐腐蝕防潮材料和指示器外殼滿足苛刻的應(yīng)用需求

墊片密封面符合 ASME 要求，無(wú)需特殊墊片

流量變送器可擁有HART® 7 或 FOUNDATION™ Fieldbus功能并且獲得了*認(rèn)證

優(yōu)勢(shì)

任何 VA 流量計(jì)即使在非常低和最高的工藝溫度下都能進(jìn)行可重復(fù)的流量測(cè)量

設(shè)計(jì)符合 ASME B31.3 - 世界主要工業(yè)設(shè)施要求

產(chǎn)品文檔、材料跟蹤和項(xiàng)目規(guī)劃與 EPC 系統(tǒng)集成商的需求相融合

無(wú)需電源 - 降低了使用成本和安裝復(fù)雜程度

可靠的流量測(cè)量技術(shù)允許通過(guò)模擬或數(shù)字接口與控制系統(tǒng)進(jìn)行通訊，即使沒(méi)有可用電源

廣泛的壓力和溫度范圍允許就多用途只選擇一個(gè)流量計(jì)

可用性和可靠性 - *使用已數(shù)十年

*范圍內(nèi)批準(zhǔn)在易爆、危險(xiǎn)環(huán)境中使用，符合國(guó)際最高防爆安全要求

多個(gè)接頭選擇，易于安裝

法蘭設(shè)計(jì)避免了對(duì)特殊墊片的需求

對(duì)焊法蘭標(biāo)準(zhǔn)，可接受完整性檢查

應(yīng)用

基本的液體或氣體流量測(cè)量

監(jiān)測(cè)旋轉(zhuǎn)設(shè)備的潤(rùn)滑劑和/或冷卻液

計(jì)量添加劑

監(jiān)測(cè)熔爐氣體

海上石油鉆井平臺(tái)的高壓流

化學(xué)劑注入

金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器和儀表

最高純度氣路。超高精確，無(wú)污染的控制。

現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來(lái)滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無(wú)泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過(guò)程化學(xué)品純度，該流路專(zhuān)為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過(guò)程媒介而設(shè)計(jì)。

關(guān)鍵應(yīng)用

硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴(kuò)散、植入和 RTP

化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

精密的表面涂層

分析系統(tǒng)

真空處理應(yīng)用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設(shè)備。

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-VDM300 DI水蒸氣輸送模塊特征

流量范圍：3 slpm(DIW蒸氣)

直接水蒸氣測(cè)量，流量精度高

直接連接到房屋去離子水供應(yīng)

在較低溫度下運(yùn)行(非過(guò)熱狀態(tài))

優(yōu)化的沖洗和排水設(shè)計(jì)

EtherCAT數(shù)字通信

Brooks專(zhuān)家支持工具(BEST)圖形用戶界面

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彈性體密封壓力控制器

使用穩(wěn)定的電子壓力控制器可獲得更好的精度，穩(wěn)定性和可靠性。

Brooks Instrument的彈性體密封壓力控制器經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，堅(jiān)固，耐用且具有成本效益，同時(shí)為*用戶提供了持續(xù)可靠的精度，這得益于流體測(cè)量和控制領(lǐng)域的。他們電子壓力控制器利用了行業(yè)熱質(zhì)量流量控制器中存在的核心控制技術(shù)。

他們的彈性體密封壓力控制器通過(guò)消除與傳統(tǒng)機(jī)械彈簧膜片壓力調(diào)節(jié)器相關(guān)的下垂和滯后，實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)控制。Brooks壓力控制器帶有內(nèi)部壓力傳感器，可控制高達(dá)4500 psig的壓力。結(jié)果：電子壓力控制器使關(guān)鍵過(guò)程保持在目標(biāo)位置。

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BROOKS INSTRUMENT產(chǎn)品型號(hào)

流量計(jì)1026NC032AA1F9F00001

流量計(jì)1026NC032AA1C9E00001,SCALE24-240L/HR

質(zhì)量流量控制器BROOKS INSTRUMENTS SLA5853S測(cè)量量程：0-1000 Nl/min

INSTRUMENTs流量計(jì)1350EM2BCNF1A

S-097-Y-208-AA、112804

流量控制器SLA5853S2GAB2C2A1

電源0250系列0254AB2A21A

流量計(jì)MT3809系列3809GZ4114

流量控制器SLA5853系列SLA5853/S-2G-A-B-2-C-2-A-1

SLA5850-SB1AB1C2A1,0-2,5NL/MIN

流量計(jì)FR2A14SVVT(0.4-5LPM)

流量計(jì)GT1001020NK1D1AA2FC9CA001

質(zhì)量流量控制器541-C-06-AAG REW

5700 系列5700質(zhì)量流量控制器

5850E 系列5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i質(zhì)量流量控制器

GF40 系列質(zhì)量流量控制器

SLA 系列SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863質(zhì)量流量控制器

SLAMf 系列SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64質(zhì)量流量控制器

5850EM 系列5850EM / 5851EM質(zhì)量流量控制器

GF80 系列質(zhì)量流量控制器

GF100 系列GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSL / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126質(zhì)量流量控制器

GF100 系列 EtherCATGF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

5850EMH 系列5850EMH / 5851EMH質(zhì)量流量控制器

GF120xHT 系列質(zhì)量流量控制器

Quantim® 系列SLA5850

Sho-Rate™ 系列可變面積流量計(jì)（轉(zhuǎn)子流量計(jì)）

FC 系列FC8744 / FC8800 / FC8900可變面積流量計(jì)（轉(zhuǎn)子流量計(jì)）

MT3750 系列3750C可變面積流量計(jì)（轉(zhuǎn)子流量計(jì)）

MT3809 系列3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G可變面積流量計(jì)（轉(zhuǎn)子流量計(jì)）

8600 系列8601

122 系列壓力表S122 / C122

122 系列開(kāi)關(guān)IPS122 / IPT122

SolidSense II® 系列GF / GF

5866RT5866RT

SLA5800 系列SLA5810 / SLA5820 / SLA5840

SLAMf 系列SLAMf10 / SLAMf20

PC100 系列PC115 / PC125壓力和真空產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

CMC 系列CMC壓力和真空產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

XacTorr® 系列CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3壓力和真空產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

VDM300VDM300汽化產(chǎn)品

半導(dǎo)體產(chǎn)品

0250 讀數(shù)應(yīng)用0251 / 0254附件和軟件

0260 系列

LR-056 系列

0260 系列軟件V1.0.3.1附件和軟件

Brooks Expert Support Tool (BEST)V5.12.0.0 / V5.10.0.0附件和軟件

GP200 嵌入式氣體數(shù)據(jù)庫(kù)V403 / V401 / V400 / V399附件和軟件

MultiFlo™ 配置器GF100 EtherCAT MFC的驅(qū)動(dòng)程序 / 使用USB 2.5mm電纜的設(shè)備驅(qū)動(dòng)程序 / V5.34 / V5.32 / FloCom 數(shù)據(jù)庫(kù) db220418 / FloCom 數(shù)據(jù)庫(kù) db190701附件和軟件